橡膠氣囊急速再生的實(shí)施

①關(guān)閉高閥,將加熱N2或室溫N2氣由PurgeGas口導(dǎo)入泵腔,被稀釋的毒性氣體就會(huì)通過排氣閥放出。這時(shí),冷板的溫度若達(dá)不到77K以上,泵室的壓力就上不去,氣體也就無法釋放出來,而又會(huì)被凝縮在冷頭上。用N2進(jìn)行沖洗時(shí),最好采用專用的放氣管道來排出N2氣。不得已要從安全閥釋放時(shí),由于易產(chǎn)生真空泄露,所以,有必要對(duì)安全閥進(jìn)行清洗。

②用加熱毯進(jìn)行加熱。但要注意加熱時(shí),溫度不能超過70℃。否則,會(huì)損壞橡膠氣囊。